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本申请提供一种晶圆冷却装置，包括：外壳，外壳顶部和底部分别开设有进气口和出气口，外壳内部沿外壳的顶部向底部方向依次包括第一空间
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该专利属于中芯北方集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯北方集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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