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本实用新型公开了一种晶圆贴膜设备，包含收放料装置，收放料装置用于将待贴的保护膜输送至待贴晶圆上方，并在贴保护膜完成后将剩余的保护膜回收，还包含：定位模块
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该专利属于上海铭沣科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海铭沣科技股份有限公司授权不得商用。

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