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本实用新型揭示了一种半导体框架板输送机构,包括输送台、输送带以及抚平机构;所述输送带设置在所述输送台上,并与所述输送台之间形成一用于框架板输送的输送腔室;所述抚平机构包括升降板以及抚平辊;所述升降板滑动安装在所述输送台上;所述抚平辊通过扭簧...该专利属于无锡摩尔精英微电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡摩尔精英微电子技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型揭示了一种半导体框架板输送机构,包括输送台、输送带以及抚平机构;所述输送带设置在所述输送台上,并与所述输送台之间形成一用于框架板输送的输送腔室;所述抚平机构包括升降板以及抚平辊;所述升降板滑动安装在所述输送台上;所述抚平辊通过扭簧...