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本发明公开了一种多方向源电容耦合等离子体源装置及其处理方法，包括：真空腔体，所述真空腔体外部具有由石英玻璃材料制造形成包覆所述真空腔体的绝缘外壳，绝缘外壳内部中空且设有电容电极；电容电极，由电极材料按照圆形结构制成，每个方向的所述电容电极设...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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