下载一种连续式箱式真空镀膜设备的技术资料

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本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,尤其涉及一种连续式箱式真空镀膜设备,包括箱式真空镀膜室,箱式真空镀膜室中设置有多排平面磁控溅射靶,多排平面磁控溅射靶前后两侧均设置有水冷板,箱式真空镀膜室中设置有用于对基膜缠绕传动的传动辊,箱式真空镀膜室...
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