下载一种线栅偏振器的制造方法的技术资料

文档序号:39841200

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本发明公开了一种线栅偏振器的制造方法,包括:在基材的表面设置金属层,在金属层表面涂覆纳米压印胶层,通过纳米压印模板形成第1掩膜区;清除第1掩膜区中凹槽内的纳米压印胶层直至金属层外露,之后再利用刻蚀工艺对第1掩膜区之间的金属层进行刻蚀,使其形...
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