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沉积设备和使用沉积设备的沉积方法技术
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文档序号:39841076
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提供了沉积设备和使用该沉积设备的沉积方法。沉积设备包括:掩模,包括沉积开口;掩模框架,支承掩模,并且包括第一部分、第二部分、第三部分和第四部分、以及与沉积开口重叠且由第一部分、第二部分、第三部分和第四部分围绕的开口;台,设置在掩模框架的后表...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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