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本发明涉及一种基板处理装置，更详细地说，涉及对于基板执行热处理等的基板处理的基板处理装置。本发明公开了一种门组装件，用于开关工艺腔室(100)的出入口(110)，在所述工艺腔室(100)以上下方向形成装载及卸载多个基板(1)的多个所述出入口...
该专利属于圆益IPS股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过圆益IPS股份有限公司授权不得商用。

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