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本发明公开了一种三氯化硼提纯装置及其提纯工艺，具体包括：机座，所述机座顶部上方固定连接有烘箱，所述烘箱位于机座顶部的左侧，所述烘箱顶部活动安装有蒸馏装置，所述烘箱中间右侧活动安装有细层；所述机座顶部右侧活动安装有提纯装置，本发明涉及提纯技术...
该专利属于浙江瑞亨电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江瑞亨电子材料有限公司授权不得商用。

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