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本发明提供基板处理装置、基板处理装置的控制方法，其目的在于提供在对处理槽的内部进行拍摄时即使拍摄了基板保持机构，也能够降低将基板保持机构判断为缺损部的可能性的技术。基板处理方法具备：第一工序，在基板保持机构不保持多个基板的状态下，照相机对基...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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