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一种电容器件寄生电阻的测试方法，包括：提供待测试电容器，待测试电容器具有第一特征尺寸；提供辅助电容器，辅助电容器具有第二特征尺寸，第二特征尺寸大于第一特征尺寸；形成串联待测试电容器和辅助电容器的金属层；对待测试电容器
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该专利属于中芯国际集成电路制造所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造授权不得商用。

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