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本发明涉及缺陷检查装置，提供在检查时不使用设计数据，对噪声、制造误差稳健的缺陷检查装置。缺陷检查装置具备：特征量计算部，其基于试样的拍摄图像来计算特征量；图像信息削减部，其通过削减所述特征量的信息量来生成潜在变量；统计量推定部，其基于所述潜...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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