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本实用新型公开了一种晶圆夹持装置，涉及到晶圆加工技术领域，包括安装板，所述安装板的一侧竖直安装有两个固定板，两个所述固定板均在同一水平高度开设有两个横向槽，两个所述固定板相互远离的一侧均设置有活动板，两个所述活动板的底端均设置有两个指向固定...
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