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在本文档中，公开了用于在光学元件的输入端处接收到输入辐射时生成宽带辐射的单片光学元件，光学元件包括：空心区域，其用于沿光学元件的纵轴，将输入辐射引导朝向光学元件的输出端；包层区域，其沿纵轴围绕核心区域并且包括横向布置的微结构，微结构被配置为...
该专利属于ASML所有，仅供学习研究参考，未经过ASML授权不得商用。

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