温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种碳化硅生长过程可测量晶体重量的装置，它涉及晶体重量测量装置技术领域；所述支撑轴通过旋转电机带动支撑盘进行旋转，所述支撑盘上固定安装有坩埚，坩埚内装有粉料，所述坩埚的侧壁上通过坩埚台阶固定安装有导气筒，所述坩埚盖的上端通过...
该专利属于连城凯克斯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过连城凯克斯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。