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本公开提供了自动设定轨道侧方缓冲器(STB)的净化模式的方法及用于制造半导体晶片的系统，所述方法由包括STB和模式确定单元的用于制造半导体晶片的系统执行，STB包括净化装置，净化装置用于供应惰性气体以排出FOUP的工艺气体，模式确定单元用于...
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