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本实用新型提供了一种电子制造设备，包括：抽气件，用于抽除水雾；导流罩，用于聚集水雾并将水雾导向抽气件，抽气件的抽气口与导流罩的开口端朝同一方向开放。本申请实施例的电子制造设备通过使用导流罩聚集水雾并且将水雾导向抽气件，抽气件抽除水雾，避免了...
该专利属于日月光半导体制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日月光半导体制造股份有限公司授权不得商用。

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