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本公开提出一种垂直腔面发射激光器的制备方法，包括：制备出电光转换部分，其中，电光转换部分的背面为第一分布式布拉格反射器；在第一分布式布拉格反射器的背面制备出第一凹槽；在第一分布式布拉格反射器的背面制备第一金属电极，并使第一金属电极的正面突起...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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