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本发明涉及一种适用于单片集成压力传感器阵列的低应力结构，包括由上到下依次叠置的压力感应结构层
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该专利属于华东光电集成器件研究所所有，仅供学习研究参考，未经过华东光电集成器件研究所授权不得商用。

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