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本发明提供了一种抽真空方法及溅射镀膜方法，抽真空方法包括以下步骤：将靶材安装在镀膜腔室中；使镀膜腔室与大气环境相互隔离，然后开启真空泵；将一板件传送至镀膜腔室中；将工作气体
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该专利属于深圳市矩阵多元科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市矩阵多元科技有限公司授权不得商用。

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