下载基于物理气相传输技术生长碳化硅体单晶方法及其装置的技术资料

文档序号:3974553

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本发明属于晶体生长技术领域,具体涉及一种基于物理气相传输技术生长碳化硅体单晶方法及其装置。本发明的基于物理气相传输技术生长碳化硅体单晶方法中,籽晶位于坩埚底部,且位于低温区,原料位于坩埚顶部,且位于高温区;生长过程中籽晶放置在坩埚底部,不需...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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