温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

用于调节腔室装置中的真空水平的装置和方法，所述腔室装置具有通过使用一个或多个泄压阀元件包封内部腔室容积的壳体，所述泄压阀元件在预定真空水平下打开以产生穿过壳体的开口并且在腔室容积内的第二较低预定真空水平下关闭
...
该专利属于艾尔菲有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾尔菲有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。