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本发明提供了一种毛细管放电极紫外光刻双真空光源装置，涉及极紫外光刻光源技术领域，旨在解决陶瓷毛细管放电时，产生电极碎屑
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该专利属于苏州极紫外半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州极紫外半导体有限公司授权不得商用。

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