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一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法技术
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下载一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法的技术资料
文档序号:39728186
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本发明属于靶材技术领域,公开了一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法,该高密度高均匀性氧化锌铝靶材,由小粒径氧化锌铝粉末和大粒径氧化锌铝粉末混合得到混合粉体后依次经过模压
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该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。
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