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本发明公开一种曲面支撑结构体的制造方法及半球谐振陀螺仪，该制造方法包括：支撑部形成步骤，通过刻蚀在下晶圆的上表面上形成环状的凹部，刻蚀作为凹部的径向外侧的平面的径向外表面，并在凹部的大致中心部上形成具有比径向外表面高的顶点的支撑部；第一电极...
该专利属于东京计器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京计器株式会社授权不得商用。

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