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本发明公开了一种基于激光跟踪仪结合机械臂在位测量光学元件面形的方法,利用机械臂牵引气浮靶标通过激光跟踪仪在位测量光学元件面形
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该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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