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本发明涉及单晶硅处理技术领域，具体为一种单晶硅干燥装置，包括烘干仓，烘干仓的外侧安装烘干器，烘干仓与烘干器之间设有通风孔，烘干仓的顶部一侧开设进料口，烘干仓的底部另一侧开设出料口，烘干仓位于进料口的上方安装送料输送带，烘干仓的内部间隔设置分...
该专利属于扬州晶樱光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州晶樱光电科技有限公司授权不得商用。

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