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本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及用于光刻机的高功率平行光模组，本发明提供用于光刻机的高功率平行光模组，包括沿光轴依次排列的光源
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该专利属于浙江中特微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江中特微电子有限公司授权不得商用。

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