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本发明公开了一种并行多模光电混合集成组件，属于光电数字收发混合集成设计技术领域，本组件采用了双面腔体结构设计，正面盖板与基板之间为第一腔体，用于容纳光电转换单元；基板的底部开设了盲腔，即与背面盖板形成第二腔体，用于容纳控制单元；采用上述的结...
该专利属于西安微电子技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过西安微电子技术研究所授权不得商用。

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