一种并行多模光电混合集成组件制造技术

本发明专利技术公开了一种并行多模光电混合集成组件，属于光电数字收发混合集成设计技术领域，本组件采用了双面腔体结构设计，正面盖板与基板之间为第一腔体，用于容纳光电转换单元；基板的底部开设了盲腔，即与背面盖板形成第二腔体，用于容纳控制单元；采用上述的结构设计，提升了集成能力；缩小了尺寸，采用了

【技术实现步骤摘要】
一种并行多模光电混合集成组件


[0001]本专利技术属于光电数字收发混合集成设计
，具体涉及一种并行多模光电混合集成组件
。

技术介绍

[0002]随着光电子技术的迅猛发展，促使光电收发
、
光电转换
、
光电成像
、
光电传输和光电子共封装等技术取得了巨大发展，在通信
、
航空等领域的应用逐渐成熟
、
在航天领域的应用逐年递增
。
当前，光电混合集成技术，在带宽
、
尺寸
、
重量和功耗等突出的优势，在众多前沿领域中发挥着重要的作用，具有极大的发展潜力，成为近年来交叉学科研究的新热点
。
[0003]作为光通信的核心元器件，光收发模块的技术发展也不断走向成熟，逐渐向高速率
、
智能化
、
小型化方向发展
。
光收发模块主要完成对光信号的光
‑
电
/
电
‑
光转换功能，集发射
、...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种并行多模光电混合集成组件，其特征在于，包括壳体，所述壳体内设置有光电转换单元和控制单元；所述壳体包括从上至下依次相连的正面盖板
(1)、
边框
(2)
和
AlN
基板
(3)
；所述
AlN
基板
(3)
底部开设有盲腔
(6)
；所述盲腔
(6)
上覆盖有背面盖板
(5)
；所述
AlN
基板
(3)
与所述正面盖板
(1)
以及所述边框
(2)
形成腔体；所述光电转换单元设置于所述腔体中；所述控制单元设置于所述盲腔
(6)
中
。2.
根据权利要求1所述的一种并行多模光电混合集成组件，其特征在于，所述光电转换单元包括：激光器，用于将输入的电信号转换成光信号；探测器，用于将输入的光信号转换成电信号；驱动器，用于生成偏置电流和调制电流，并将偏置电流和调制电流传输至激光器；放大器，用于对探测器输出的电信号进行整形和放大，并输出高速差分信号；多模光纤阵列，用于发射或接收光信号；激光器的光芯片
、
探测器的光芯片
、
驱动器的电芯片以及放大器的光芯片均设置于所述
AlN
基板
(3)
上；所述控制单元包括：处理器，用于向驱动器和放大器发送控制指令，接收驱动器和放大器的反馈信号与告警信号，对驱动器和放大器进行补偿设置
。3.
根据权利要求2所述的一种并行多模光电混合集成组件，其特征在于，所有光芯片与多模光纤阵列耦合，均采用
45
°
全反射设置
。4.
根据权利要求2所述的一种并行多模光电混合集成组件，其特征在于，所述多模光纤阵列的尾纤与所述壳体采用气密封装，所述壳体的电引出端采用
LCC
封装
。5.
根据权利要求2所述的一种并行多模光电混合集成组件，其特征在于，所述处理器通过
I2C
接口对驱动器和放大器进行补偿设置，通过
I/O
接口接收驱动器和放大器的反馈信号与告警信号
。6.
根据权利要求2所述的一种并行多模光电混合集成组件，其特征在于，4个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：高苏芳，肖泽平，杨昊泽，郑东飞，王志勇，王俊峰，
申请(专利权)人：西安微电子技术研究所，
类型：发明
国别省市：