下载陶瓷压力传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:39712563

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本申请公开一种陶瓷压力传感器及其制造方法,属于电气元件技术领域。所述陶瓷压力传感器包括:陶瓷底座和膜片;所述陶瓷底座的正面设置有空腔,所述陶瓷底座的背面设置有通气腔,所述空腔和所述通气腔通过通气孔连通;所述通气腔的腔体表面覆盖有第一金属化层...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。

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