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提供一种微机电系统、微机电系统致动器及微机械臂阵列。该微机械臂阵列包含：在第一水平方向上彼此隔开且沿第二水平方向延伸的多个微机械臂，其中每一微机械臂包含位于每一微机械臂的顶部且在垂直方向向上突出的突起；多个保护膜，每一保护膜封装所述多个微机...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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