下载一种结构稳定的晶圆传送装置和系统的技术资料

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本实用新型公开了一种结构稳定的晶圆传送装置和系统,装置包括:底座;竖向设置的支撑架,设置在底座上;所述支撑架设置为两个,分别对向设置于底座的两侧;多组对向设置在支撑架上的承载组件,每个承载组件均包括:平台支架,平台支架的一端与支撑架连接,所...
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