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本公开提供了一种晶圆蚀刻工艺的流量控制方法及系统，涉及晶圆蚀刻技术领域，该方法包括：获取晶圆蚀刻概念图；生成待蚀刻区域坐标集；标定蚀刻速率信息；获取蚀刻剂滴头的单滴蚀刻剂质量；生成单位流量平面蚀刻预测范围；生成单位流量斜面蚀刻预测范围；生成...
该专利属于江苏卓玉智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏卓玉智能科技有限公司授权不得商用。

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