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本发明涉及扫描曝光装置、扫描曝光方法、物品的制造方法、信息处理装置、信息处理方法、存储介质。提供有利于在扫描曝光中精度良好地进行聚焦
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该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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