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本发明提供曝光装置、物品的制造方法及曝光方法。提供能简易降低接合区域的累计曝光量中不均匀的曝光装置。本发明的曝光装置特征在于具备：照明光学系统，包括能在非扫描方向上移动的遮光部，具有供来自光源的曝光的光通过的开口和各自能调整开口在非扫描方向...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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