下载一种硅片包装堆垛自动系统及使用方法的技术资料

文档序号:39658532

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本发明提供了一种硅片包装堆垛自动系统,包括送料带和设置于送料带中的汇流线机构,汇流线机构上连接有检片桌,检片桌的一侧设置有硅片分选机,送料带尾端一侧设置有用于夹持物料的堆垛机器人,堆垛机器人的一侧设置有不少于两个托盘定位机构,汇流线机构上设...
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