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本发明公开的Ｔｉ－ＴｉＮ－ＣＮｘ梯度多层薄膜在钛合金基底上自下而上依次有纯Ｔｉ结合层、由ＴｉＮ和非晶ＣＮｘ相互交替构成的ＴｉＮ／ＣＮｘ梯度多层过渡层和类石墨结构的非晶ＣＮｘ膜层。采用非平衡磁控溅射法制备。纯Ｔｉ结合层及ＴｉＮ／ＣＮｘ梯度多层...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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