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本申请涉及一种立式炉用上下料机构，涉及晶圆加工设备领域，立式炉用上下料机构配合座和滑动架，所述配合座设置于一立式炉的入口处，所述滑动架上竖向滑设有一支撑架，所述滑动架上设置有用以驱动所述支撑架沿远离或靠近立式炉入口处滑动的第一驱动件；所述支...
该专利属于湖南艾科威半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南艾科威半导体装备有限公司授权不得商用。

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