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本实用新型提供了一种多腔室的薄膜沉积装置，包括：集成于同一外壳中的多个反应腔室，该外壳连接有抽气泵，该多个反应腔室均通过该抽气泵排气；每个该反应腔室连接有一路或多路进气管路，该进气管路在前端设有阀门，用于通过该阀门控制该多个反应腔室内部保持...
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