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本申请公开了一种定量加料方法,所述定量加料方法包括如下步骤:组建流态化仓泵,以氢气作为加料系统的输送动力,干燥硅粉为输送物料进行气力输送,在流态化仓泵内部实现物料的移动;建立后反馈自动控制系统;均衡反应器温度和压差;进行定量加料,将物料定量...该专利属于青海丽豪半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青海丽豪半导体材料有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种定量加料方法,所述定量加料方法包括如下步骤:组建流态化仓泵,以氢气作为加料系统的输送动力,干燥硅粉为输送物料进行气力输送,在流态化仓泵内部实现物料的移动;建立后反馈自动控制系统;均衡反应器温度和压差;进行定量加料,将物料定量...