一种定量加料方法技术

本申请公开了一种定量加料方法，所述定量加料方法包括如下步骤：组建流态化仓泵，以氢气作为加料系统的输送动力，干燥硅粉为输送物料进行气力输送，在流态化仓泵内部实现物料的移动；建立后反馈自动控制系统；均衡反应器温度和压差；进行定量加料，将物料定量送入加料系统内，利用加料系统平衡反应器温度和压差波动，降低转化率的波动，提高硅粉计量的准确性；计量准确

【技术实现步骤摘要】
一种定量加料方法


[0001]本申请涉及多晶硅加工领域，尤其是一种定量加料方法
。

技术介绍

[0002]多晶硅，是单质硅的一种形态
。
熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，电子工业中广泛用于制造半导体收音机
、
录音机
、
电冰箱
、
彩电
、
录像机
、
电子计算机等的基础材料
。
[0003]目前多晶硅行业冷氢化反应器加料都是一个大料仓下利用送料氢根据反应器压力，床层压差
、
温度来进行加料，每次加料会造成反应器温度和压差波动，转化率波动，硅粉计量不准确，不易保证生产平稳
。
因此，针对上述问题提出一种定量加料方法
。

技术实现思路

[0004]在本实施例中提供了一种定量加料方法用于解决现有技术中反应器温度和压差波动，转化率波动，硅粉计量不准确，不易保证生产平稳的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种定量加料方法，其特征在于：所述定量加料方法包括如下步骤：
(1)
组建流态化仓泵，以氢气作为加料系统的输送动力，干燥硅粉为输送物料进行气力输送，在流态化仓泵内部实现物料的移动；
(2)
建立后反馈自动控制系统，将自动控制设备与加料系统连接，利用控制设备调节，输送仓泵内压力
、
气体速度的基本恒定，掌控固体浓度
、
固体输送能力的变化趋势；
(3)
均衡反应器温度和压差，采用后反馈自动控制系统，建立固体输送定量性的控制方案，通过调整各个电磁阀以及气体阀门的开度，实现了固体输送能力固体浓度的均衡；
(4)
进行定量加料，将物料定量送入加料系统内，利用加料系统平衡反应器温度和压差波动，降低转化率的波动，提高硅粉计量的准确性；
(5)
计量准确
、
平稳生产，利用加料系统内部的计量机构进行辅助，保证计量的准确程度，保证对硅粉的平稳生产，提高对硅粉的输送效率
。2.
根据权利要求1所述的一种定量加料方法，其特征在于：所述步骤
(1)
中的流态化仓泵采用气体动力源
(1)、
气体管道
(2)、
流化气管
(5)
和气力输送仓泵
(13)、
流化床
(14)
组成
。3.
根据权利要求1所述的一种定量加料方法，其特征在于：所述步骤
(1)
中气体动力源
(1)
与气体管道
(2)
连接，气体管道
(2)
通过流化气管
(5)
与流化床
(14)
底部连接，流化床
(14)
上安装有气力输送仓泵
(13)
，且气体管道
(2)
顶部分别连接有背压气管
(8)
和推料气管
(9)
，所述背压气管
(8)
与气力输送仓泵顶部
(13)
连接，推料气管
(9)
与输送母管
(17)
连接
。4.
根据权利要求3所述的一种定量加料方法，其特征在于：所述步骤
(1)
中气力输送仓泵
(13)
内部安装有固体出料口
(15)
，固体出料口
(15)
与输送...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟升勇，舒俊，
申请(专利权)人：青海丽豪半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：