温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种毛细管放电等离子体耦合发光结构，涉及极紫外光刻领域，旨在解决现有技术中发光功率低，杂光多的问题，采用的技术方案是，包括毛细管，毛细管位于放电室内，毛细管两端分别设有第一电极和第二电极，且第一电极和第二电极连接电源形成回路，第...
该专利属于苏州极紫外半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州极紫外半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。