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大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置和装夹方法制造方法及图纸
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下载大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置和装夹方法的技术资料
文档序号:39591831
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本发明涉及大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置和装夹方法,本发明通过元件大面固定部
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该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。
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