大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置和装夹方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置和装夹方法，本发明专利技术通过元件大面固定部

【技术实现步骤摘要】
大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置和装夹方法


[0001]本专利技术涉及光学超精密加工
，更具体的说是涉及大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置和装夹方法
。

技术介绍

[0002]大口径方形光学元件能够消除球面元件在光束传递过程中产生的球差
、
慧差
、
像差等不利影响，在光束聚焦时能减少光能损失，提高聚焦和校准精度，因此广泛应用于高功率激光装置
、
高分辨率光学望远系统
、
高灵敏度红外传感系统等领域
。
[0003]大口径方形光学元件侧边抛光时，光学元件侧边与侧边抛光机盘面接触，由于光学元件侧边与大面宽度比大
(
宽度比
≥1
：
8)
，光学元件侧边抛光时易发生倾斜甚至倾倒，光学元件侧边与抛光机盘面存在一定的倾角，导致光学元件侧边去除不均匀，去除效率降低，直接影响了光学元件侧边垂直度
。
而现有的夹具只能起到固定光学元件作用，在元件厚薄端比例较大时，元件重心不稳，旋转过程极易因力的作用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置，其特征在于，包括：底座
(1)
，所述底座
(1)
底部与机床盘面
(13)
接触，所述底座
(1)
内部形成有放置方形光学元件及抛光介质的贯穿式存放区域；支撑架，所述底座
(1)
上靠近所述贯穿式存放区域处设置有支撑架，所述支撑架与所述底座
(1)
垂直布置；元件大面固定部，所述支撑架两侧至少对称设置两组可沿第一方向移动的
、
且用于固定方形光学元件大面的元件大面固定部；元件侧面固定部，所述支撑架两侧错开所述元件大面固定部
、
且对称设置有两组元件侧面固定部，用于可沿第二方向移动
、
并固定所述方形光学元件的侧面；每一组所述元件大面固定部和对应的一组所述元件侧面固定部位于方形光学元件的同一侧；其中所述底座
(1)
为回转体，其回转轴线与侧边抛光机的机床盘面
(13)
回转轴线保持一定距离，机床盘面
(13)
沿自身轴线以一定速度旋转，同时底座
、
支撑架
、
元件大面固定部及元件侧面固定部带动方形光学元件沿着底座的回转轴线以一定速度旋转，使机床盘面
(13)
与方形光学元件的侧边加工面保持相对运动
、
并抛光
。2.
根据权利要求1所述的大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置，其特征在于，所述底座
(1)
中部的贯穿式存放区域为腰形凹槽，且腰形凹槽的侧边形成由上向下倾斜的坡面
。3.
根据权利要求1所述的大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置，其特征在于，所述支撑架包括：支撑板
(2)
，所述支撑板
(2)
为两组
、
以所述底座
(1)
的回转轴线为中心且对称固定于所述贯穿式存放区域两侧，其固定位置相对的所述底座
(1)
上开设有向下凹的平台区；背部支撑板
(11)
，两组所述支撑板
(2)
的背部平行且间隔固定有上下两个背部支撑板
(11)
，并绕所述贯穿式存放区域周围形成一侧为敞口的框形结构；背部固定板
(12)
，所述框形结构内安装有与所述底座
(1)
能够调节垂直度的所述背部固定板
(12)。4.
根据权利要求3所述的大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置，其特征在于，所述底座
(1)
采用尼龙制成；所述支撑板
(2)
采用低密度高强度的金属材料制成；所述背部固定板
(12)
采用低密度非金属材料制成
。5.
根据权利要求3所述的大口径方形光学元件侧边抛光装夹装置，其特征在于，每一组所述元件大面固定部均包括：大面固定块导向槽
(4)
，所述背部支撑板
(11)
相对所述背部固定板
(12)
两侧设有大面固定块导向槽
(4)
；大面固定块
(3)
，所述大面固定块导向槽
(4)
内容纳至少部分所述大面固定块
(3)
，用于沿第一方向移动
、
且用于固定方形光学元件大面；羊角螺杆
(22)
，所述大面固定块
(3)
通过旋转位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马厚才，韦前才，周炼，文中江，李洁，张利平，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：