下载一种气密光器件的生产方法的技术资料

文档序号:39590741

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本发明涉及一种气密光器件的生产方法,包括封盖步骤和检漏步骤,所述封盖步骤为:将待封盖的光器件在真空和氦气环境中烘烤,然后在氦气环境中进行封盖;所述检漏步骤为:将封盖后的光器件在空气中静置设定时长,然后使用氦质谱检测仪检测漏率
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该专利属于成都光创联科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都光创联科技有限公司授权不得商用。

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