下载真空箱氦检漏系统的技术资料

文档序号:39587581

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本发明公开的属于氦检漏技术领域,具体为真空箱氦检漏系统,包括:真空箱,所述真空箱的内腔设有检测工件,用于使真空箱处于真空状态的箱体抽空泵,所述箱体抽空泵设在真空箱上,用于使检测工件处于真空状态的工件抽空泵,所述工件抽空泵设在真空箱上,用于对...
该专利属于上海真兰仪表科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海真兰仪表科技股份有限公司授权不得商用。

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