真空箱氦检漏系统技术方案

本发明专利技术公开的属于氦检漏技术领域，具体为真空箱氦检漏系统，包括：真空箱，所述真空箱的内腔设有检测工件，用于使真空箱处于真空状态的箱体抽空泵，所述箱体抽空泵设在真空箱上，用于使检测工件处于真空状态的工件抽空泵，所述工件抽空泵设在真空箱上，用于对氦气进行回收的回收系统，所述回收系统设在真空箱上，用于对氦气进行检测的检漏仪，所述检漏仪设在真空箱上，所述真空箱包括：底板，所述箱体固定安装在底板的顶部上，本发明专利技术通过设置用于对氦气进行回收的回收系统，进而能够解决目前的真空箱氦检漏工作在进行的过程中会有少量氦气流出的问题，进而会在一定程度上避免浪费，降低成本的投入

【技术实现步骤摘要】
真空箱氦检漏系统


[0001]本专利技术涉及氦检漏
，具体为真空箱氦检漏系统
。

技术介绍

[0002]真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度
、
迅速准确的判断工件的泄漏情况
。
但在真空箱氦检漏工作进行的过程中会有少量氦气流出，而氦气造价相对较贵，如果气体流出极易造成浪费，并且大尺寸工件在放入的过程中容易发生位移，影响到检测的正常进行，甚至有可能造成工件损坏
。
因此，专利技术真空箱氦检漏系统
。

技术实现思路

[0003]鉴于上述和
/
或现有真空箱氦检漏系统中存在的问题，提出了本专利技术
。
[0004]因此，本专利技术的目的是提供真空箱氦检漏系统，能够解决上述提出现有的问题
。
[0005]为解决上述技术问题，根据本专利技术的一个方面，本专利技术提供了如下技术方案：
[0006]真空箱氦检漏系统，其包括：
[0007]真空箱，所述真空箱的内腔设有检测工件；
[0008]用于使真空箱处于真空状态的箱体抽空泵，所述箱体抽空泵设在真空箱上；
[0009]用于使检测工件处于真空状态的工件抽空泵，所述工件抽空泵设在真空箱上；
[0010]用于对氦气进行回收的回收系统，所述回收系统设在真空箱上；
[0011]用于对氦气进行检测的检漏仪，所述检漏仪设在真空箱上
。
[0012]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：所述真空箱包括：
[0013]底板；
[0014]箱体，所述箱体固定安装在底板的顶部上
。
[0015]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：所述真空箱还包括：
[0016]用于对箱体进行密封的箱门组件，所述箱门组件设在底板上；
[0017]用于对检测工件进行固定的固定组件；
[0018]用于带动检测工件进行移动的移动组件，所述移动组件设在箱体上，且移动组件上设有固定组件
。
[0019]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：所述箱门组件包括：
[0020]侧板，所述底板的顶部两端均固定安装侧板，且两组侧板之间设有箱体；
[0021]支撑板，所述支撑板固定安装在两组侧板之间的顶端上
。
[0022]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：所述箱门组件还包括：
[0023]第一气缸，所述第一气缸固定安装在支撑板上；
[0024]挡板，所述第一气缸的输出端通过活塞杆固定安装挡板，且挡板能够将箱体的开口遮挡住
。
[0025]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：所述移动组件包括：
[0026]第二气缸，所述箱体的两端均固定安装第二气缸；
[0027]移动板，每组所述第二气缸的输出端均通过活塞杆固定安装移动板；
[0028]伺服电机，所述伺服电机固定安装在移动板中；
[0029]承载板，所述伺服电机的输出轴固定安装承载板，且承载板的顶部通过固定组件可拆卸连接检测工件
。
[0030]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：所述固定组件包括：
[0031]固定板，所述承载板的顶部呈环形排列固定安装四组固定板；
[0032]第二气缸，每组所述固定板上均固定安装第二气缸；
[0033]挤压板，所述第二气缸的输出端通过活塞杆固定安装挤压板，且四组挤压板之间设有检测工件
。
[0034]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：所述回收系统包括：
[0035]抽空泵，所述抽空泵设在真空箱上，且抽空泵与检测工件相连通；
[0036]回收泵，所述回收泵设在真空箱上，且回收泵与检测工件相连通；
[0037]高压罐，所述高压罐设在真空箱上，且高压罐与检测工件相连通；
[0038]低压罐，所述低压罐设在真空箱上，且低压罐与检测工件相连通
。
[0039]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：所述回收系统还包括：
[0040]压缩机，所述高压罐和所述低压罐之间设有压缩机，且压缩机设在真空箱上；
[0041]氦浓度分析仪，所述检测工件与所述高压罐之间设有氦浓度分析仪，且氦浓度分析仪设在真空箱上
。
[0042]作为本专利技术所述的真空箱氦检漏系统的一种优选方案，其中：还包括一种真空箱氦检漏方法，具体步骤如下：
[0043]步骤一：打开真空箱，将待检测工件置于真空箱中；
[0044]步骤二：关闭真空箱；
[0045]步骤三：将真空箱抽真空至
30kPa
；
[0046]步骤四：将检测工件抽真空至
75kPa
；
[0047]步骤五：将真空箱抽真空至
30Pa
；
[0048]步骤六：将检测工件抽真空至
2kPa
；
[0049]步骤七：对检测工件充氦气直至氦气为
10kPa
，此时，进行低压检漏，在低压测试完成后，将氦检压力增至
75kPa
，此时，进行高压检漏测试；
[0050]步骤八：将检测工件内部的氦气进行回收，直至真空度为
2kPa
；
[0051]步骤九：对检测工件充入大气至
75kPa
；
[0052]步骤十：对真空箱充入大气至
75kPa
；
[0053]步骤十一：对检测工件
、
真空箱进行同时破空，充入大气至
101kPa
；
[0054]步骤十二：打开真空箱；
[0055]步骤十三：取检测工件
。
[0056]与现有技术相比：
[0057]1.
通过设置用于对氦气进行回收的回收系统，进而能够解决目前的真空箱氦检漏
工作在进行的过程中会有少量氦气流出的问题，进而会在一定程度上避免浪费，降低成本的投入；
[0058]2.
通过设置用于对检测工件进行固定的固定组件，具有能够实现从四个方向对检测工件进行挤压固定的作用，通过从四个方向对检测工件进行挤压固定，进而能够实现对多种尺寸的工件进行固定的作用；
[0059]3.
通过设置移动组件，具有能够带动检测工件进行移动的作用，通过带动检测工件进行移动，进而能够将固定组件伸出真空箱外，以便于能够对检测工件进行拆装；
[0060]4.
通过设置箱门组件，不仅能够便于对真空箱的关闭或打开进行控制的作用，还具有操作简单可靠的作用
。
附图说明
[0061]图1为本专利技术流程示意图；
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
真空箱氦检漏系统，其特征在于，包括：真空箱，所述真空箱的内腔设有检测工件；用于使真空箱处于真空状态的箱体抽空泵，所述箱体抽空泵设在真空箱上；用于使检测工件处于真空状态的工件抽空泵，所述工件抽空泵设在真空箱上；用于对氦气进行回收的回收系统，所述回收系统设在真空箱上；用于对氦气进行检测的检漏仪，所述检漏仪设在真空箱上
。2.
根据权利要求1所述的真空箱氦检漏系统，其特征在于，所述真空箱包括：底板
(10)
；箱体
(20)
，所述箱体
(20)
固定安装在底板
(10)
的顶部上
。3.
根据权利要求2所述的真空箱氦检漏系统，其特征在于，所述真空箱还包括：用于对箱体
(20)
进行密封的箱门组件，所述箱门组件设在底板
(10)
上；用于对检测工件进行固定的固定组件；用于带动检测工件进行移动的移动组件，所述移动组件设在箱体
(20)
上，且移动组件上设有固定组件
。4.
根据权利要求3所述的真空箱氦检漏系统，其特征在于，所述箱门组件包括：侧板
(31)
，所述底板
(10)
的顶部两端均固定安装侧板
(31)
，且两组侧板
(31)
之间设有箱体
(20)
；支撑板
(32)
，所述支撑板
(32)
固定安装在两组侧板
(31)
之间的顶端上
。5.
根据权利要求4所述的真空箱氦检漏系统，其特征在于，所述箱门组件还包括：第一气缸
(33)
，所述第一气缸
(33)
固定安装在支撑板
(32)
上；挡板
(34)
，所述第一气缸
(33)
的输出端通过活塞杆固定安装挡板
(34)
，且挡板
(34)
能够将箱体
(20)
的开口遮挡住
。6.
根据权利要求3所述的真空箱氦检漏系统，其特征在于，所述移动组件包括：第二气缸
(41)
，所述箱体
(20)
的两端均固定安装第二气缸
(41)
；移动板
(43)
，每组所述第二气缸
(41)
的输出端均通过活塞杆固定安装移动板
(43)
；伺服电机
(44)
，所述伺服电机
(44)
固定安装在移动板
...

【专利技术属性】
技术研发人员：任海军，李诗华，徐荣华，王文军，黄伟涛，
申请(专利权)人：上海真兰仪表科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：