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本发明提供一种非理想椭偏系统的校准方法，在通过标准样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出测量系统的系统参数的过程中，同时考虑了波片倾斜以及电机转轴与光路不平行的问题，在拟合迭代系统参数时，系统参数不仅包括波片的相关参数，也...
该专利属于武汉颐光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉颐光科技有限公司授权不得商用。

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