下载一种半导体结构的制备方法及半导体结构的技术资料

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本申请提供一种半导体结构的制备方法及半导体结构,该方法包括:提供一衬底;在衬底上形成有源结构,有源结构包括第一有源结构和第二有源结构;对有源结构填充氧化物,以形成浅槽隔离;去除浅槽隔离的第一部分,以暴露第一有源结构;基于第一有源结构,形成第...
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